传统清洗技术包括机械摩擦清洗（喷砂清洗、高压水枪清洗等）、化学腐蚀清洗、超声波清洗、干冰清洗等，这些清洗技术已经广泛应用于各行各业，如喷砂清洗通过选择不同硬度的磨料可以清洗金属绣斑、金属表面毛刺、电路板表面三防漆等，化学腐蚀清洗技术广泛用于设备表面油垢清洗、锅炉水垢清洗、输油管路清洗等领域。虽然这些清洗技术已发展成熟，但仍然存在一些问题，如喷砂清洗容易对处理表面造成损伤，化学腐蚀清洗会造成环境污染、处理不当时导致清理表面腐蚀。

激光清洗技术的出现是对清洗技术的一次革命。激光清洗技术利用了激光的能量密度高、精度高、可高效传导等优点，较传统清洗技术在清洗效率、清洗精度、清理位置等方面有明显优势，可有效避免化学腐蚀清洗等清洗技术会造成的环境污染，且不会对基底产生损伤。

激光清洗是通过激光束照射从固体（或有时为液体）表面去除材料的过程。在低激光通量下，材料被吸收的激光能量加热并蒸发或升华。在高激光通量下，材料通常会转换为等离子体。通常，激光清洗是指用脉冲激光去除材料，但是如果激光强度足够高，则可以用连续波激光束烧蚀材料。深紫外光的准分子激光器主要用于光烧蚀。用于光烧蚀的激光波长约为200nm。吸收激光能量的深度以及单个激光脉冲去除的材料量取决于材料的光学特性以及激光波长和脉冲长度。每个激光脉冲从靶标烧蚀的总质量通常称为烧蚀率。激光束扫描速度和扫描线覆盖率等激光辐射特征会显着影响烧蚀过程。